1、每天使用三坐标测量机前检查管道和过滤器，放出过滤器内及空压机或储气罐的水和油。

2、一般3个月要清洗随机过滤器和前置过滤器的滤芯。空气质量较差的周期要缩短。因为过滤器的滤芯在过滤油和水的同时本身也被油污染堵塞，时间稍长就会使测量机实际工作气压降低，影响三坐标测量仪正常工作。一定要定期清洗过滤器滤芯。

3、每天都要擦拭导轨油污和灰尘，保持气浮导轨的正常工作状态。

三坐标测量机的使用需留意的事项

1、工件吊装前，要将探针退回坐标原点，为吊装位置预留较大的空间；工件吊装要平稳，不可撞击三坐标测量仪的任何构件。

2、正确安装零件，安装前确保符合零件与测量机的等温要求。

3、建立正确的坐标系，保证所建的坐标系符合图纸的要求，才能确保所测数据准确。

4、当编好程序自动运行时，要防止探针与工件的干涉，故需注意要增加拐点。

5、对于一些大型较重的模具、检具，测量结束后应及时吊下工作台，以避免工作台长时间处于承载状态。